Normal view
MARC view
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий Р. К. Яфаров
Material type: TextLanguage: Russian Publication details: Москва Физматлит 2009Description: 216 с. ил. 23 смISBN: 9785922111508Subject(s): СВЧ источники | плазменная обработка материалов | электромагнитные волны - взаимодействие с плазмой | плазма низкотемпературная | вакуумно-плазменные нанотехнологии | теория плазмы газового разряда | плазмохимическое оборудование | диффузионные процессы (математическая теория) | диффузионные модели | плазмохимические технологии | плазмохимическое травление | кремниевые материалы | плазмохимическое осаждение гетероструктур | наноструктуры | нанопленки | нанокомпозиты | алмазно-графитовые материалы | алмазно-углеводородные материалы | аллотропные модификацииOther classification: З844.19-060.14-1,0 | Ж624-1,0Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-986574к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000723478 | |||
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 Я89 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000733450 | |||
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 Я89 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000731114 | ||
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 Я89 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000731115 |
Библиогр.: с. 205-216
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.