Normal view
MARC view
Тонкопленочная технология Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер. с англ. В. И. Генкина, Е. И. Гиваргизова
Material type: TextPublication details: М. Энергия 1972Description: 336 с. илSubject(s): микроэлектронные схемы интегральные | тонкие пленки | технология тонких пленок | катодное распыление | подложки микроэлектронных схем | микроэлектронные рельефы | производство тонкопленочных схем | осаждение тонких пленок | тлеющие разряды | подложки | фотолитография | фотошаблоны | маскирование | резисторы пленочные | конденсаторы пленочные | проводящие пленки | топология пленочных схем | поверхности металлов | когезия металлов | контакты к тонкопленочным элементам | пайка выводов | холодная сварка | сварка | вакуумное распыление | анодное окисление | измерение тонкопленочных схем | качество тонкопленочных схемItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-105007 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000504183 | ||
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-100896к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000518655 |
Библиогр.: 329-335
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.