Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (2)
-
Authors
- Арендт, Поль Н. (1)
- Гоял, Амит (1)
- Красников, Геннадий Яковлевич (1)
- Фуджино, К. (1)
-
Locations
- Книгохранилище (1)
- Факультетская библиотека (1)
- Читальный зал 5 (1)
-
Item types
-
Topics
- IBAD метод (1)
- МОП- транзисторные структуры (1)
- МОП-транзисторы субмикронные (1)
- МОП-транзисторы субмикронные, дефекты (1)
- МОП-транзисторы субмикронные, надежность (1)
- МОП-транзисторы, масштабирование (1)
- МОП-транзисторы, физические процессы (1)
- бесфторные технологии (1)
- влияние технологических процессов (1)
- деградация подзатворного диэлектрика (1)
- диэлектрики подзатворные, формирование (1)
- диэлектрические слои (1)
- затворы МОПТ, формирование (1)
- затворы металлические (1)
- затворы поликремниевые (1)
- затворы поликристаллические (1)
- затворы полиметаллические (1)
- затворы полицидные (1)
- затворы силицидные (1)
- осаждение струйное (2)
- Show more
- Show less