Refine your search
Availability
-
bib-level
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- 1 месяц (1)
- Выдается в читальный зал (2)
-
Topics
- Больцмана уравнение (1)
- аморфный кремний (1)
- газовые разряды (1)
- диссертации (1)
- кинетика электронов неравновесная (1)
- кинетические процессы (1)
- математические модели (1)
- механика жидкости, газа и плазмы (3)
- плазма аргоновая (1)
- плазма высокочастотная аргон-силановая (1)
- плазма газоразрядная силановая (1)
- плазма слабоионизированная запыленная (1)
- плазма тлеющего разряда (1)
- плазменное осаждение (1)
- плазменные технологии (1)
- пленки микрокристаллического кремния (1)
- процессы переноса в химически активной плазме (1)
- силановая плазма (1)
- Show more
- Show less