Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (3)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент. Депозитарий (2)
- Библиотека РФФ (1)
- Книгохранилище (2)
- Факультетская библиотека (1)
- Читальный зал 5 (1)
-
Item types
- 1 месяц (2)
- 1 неделя (1)
- 6 месяцев (2)
- Выдается в читальный зал (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- Металлы (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные (1)
- Оборудование производства электронной техники (1)
- Осаждение из газовой фазы (1)
- Производство (1)
- автоматизированное производство гибкое (1)
- алюминий (1)
- вакуумно-технические требования (1)
- вольфрам (1)
- германий (1)
- диэлектрические пленки (1)
- диэлектрические постоянные (1)
- интегральные микросхемы (1)
- интегральные приборы (1)
- интегральные системы (1)
- интегральные схемы с субстананометровыми топологическими нормами (1)
- интегральные схемы, технология изготовления (1)
- ионные пучки фокусированные (1)
- кремний (1)
- физико-химические процессы (2)
- Show more
- Show less