TY  - BOOK
AU  - Гаврилов,Сергей Александрович
AU  - Белов,Алексей Николаевич
AU  - Железнякова,Анастасия Вячеславовна
AU  - Кузнецова,Е.Г.
TI  - Лабораторный практикум по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем"
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - лабораторные работы
KW  - наноэлоектроника
KW  - наноструктуры
KW  - нанополупроводники
KW  - нанотехнологии низкотемпературные
KW  - анодное окисление материалов
KW  - анодное растворение материалов
KW  - катодное осаждение материалов
KW  - наноструктуры пористые
KW  - электрохимические процессы
KW  - нанотехнологии электрохимические
KW  - материалы нанотехнологии
N1  - Библиогр.: с. 105-106
ER  -