TY  - BOOK
AU  - Патрушева,Тамара Николаевна
TI  - Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники: Учебное пособие
SN  - 9785160063768
PY  - 2019///
CY  - Москва
PB  - ООО "Научно-издательский центр ИНФРА-М"
KW  - Радиоэлектроника. Автоматика. Связь
KW  - Микроэлектроника. Наноэлектроника
KW  - local
KW  - Учебное пособие
N2  - В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нано- технологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных пьезоэлектрических магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов изучающих курс Современные технологии микро- и наноэлектроники а также инженеров специалистов и ученых работающих в области технологии сенсоров
UR  - https://znanium.com/catalog/document?id=355472
UR  - https://znanium.com/cover/1012/1012426.jpg
ER  -