TY  - BOOK
AU  - Зайцева,Е.
AU  - Закирова,Р.М.,Константин Сергеевич
AU  - Крылов,П.Н.,Ирина
AU  - Лебедев
AU  - Федотова
TI  - Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок: Статья
PY  - 2012///
CY  - Ижевск
PB  - ФГБОУ ВПО "Удмуртский Государственный университет"
KW  - Физико-математические науки
KW  - Физика твердого тела. Кристаллография
KW  - local
KW  - Статья
UR  - https://znanium.com/catalog/document?id=260493
UR  - https://znanium.com/cover/0516/516827.jpg
ER  -