TY  - BOOK
AU  - Дирко,Владимир Владиславович
AU  - Коханенко,Андрей Павлович
ED  - Томский государственный университет.
TI  - Сверхструктурные переходы при синтезе гетероэпитаксиальных пленок Ge/Si, GeSi/Si методом молекулярно-лучевой эпитаксии: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 1.3.11
PY  - 2022///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - nsnr
KW  - Физика полупроводников
KW  - диссертации
KW  - гетероэпитаксиальные пленки, синтез
KW  - кремний
KW  - германий
KW  - сверхструктурные переходы
KW  - молекулярно-лучевая эпитаксия, метод
KW  - гетероструктуры, рост эпитаксиальный
KW  - дифракция быстрых отраженных электронов, метод
KW  - гетероструктуры Ge-Si, применение
KW  - "Катунь-100", установка молекулярно-лучевой эпитаксии
N1  - Библиогр.: л. 98-119; Доступ в сети ТГУ
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000901912
ER  -