TY  - SER
AU  - Насриддинов,Сайфулла Саидович
AU  - Есбергенов,Дарьябай Муратбаевич
TI  - Исследования комплексного дефектообразования в кремнии, легированном никелем
KW  - нестационарная емкостная спектроскопия
KW  - рамановская спектроскопия
KW  - кремний
KW  - переходные металлы
KW  - дефектообразование
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 16 назв; Ограниченный доступ
N2  - Методами нестационарной емкостной спектроскопии (DLTS) и комбинационного рассеяния света (рамановская спектроскопия) изучено поведение примесей никеля и водорода в кремнии. Показано, что колебания атомов Ni и Н в Si находятся в диапазоне 925–985 см–1. В спектрах DLTS в кремнии n- и p-типа, диффузионно-легированном Ni, наблюдаются два глубоких уровня с энергиями Ev + 0.17 эВ и Eс – 0.42 эВ. Выявлено, что при химическом травлении в Si, легированном Ni, образовываются различные дефектные комплексы, связанные с водородом, энергии которых равны Eс – 0.18 эВ, Eс – 0.54 эВ, Ev + 0.26 эВ и Ev + 0.55 эВ
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000901483
ER  -