TY  - BOOK
AU  - Неустроев,Ефим Петрович
TI  - Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (~10кэВ/а. е. м. ) и высоких ("1 МэВ/а. е. м. ) энергий, при отжигах до 1050 градусов С: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
PY  - 2000///
CY  - Новосибирск
KW  - Физика полупроводников и диэлектриков
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 16-17
ER  -