TY - GEN AU - Черных,Р.В AU - Анисимов,Олег Викторович AU - Максимова,Надежда Кузьминична AU - Черников,Евгений Викторович TI - Влияние температуры и влажности окружающей среды на газочувствительные свойства сенсоров метана KW - физика полупроводников KW - физика диэлектриков KW - полупроводниковые низкоразмерные структуры KW - физика полупроводниковых низкоразмерных структур KW - технология полупроводниковых низкоразмерных структур KW - тонкие пленки KW - газовые сенсоры KW - портативные газоанализаторы KW - металлооксидные полупроводники KW - экспериментальные исследования KW - труды ученых ТГУ ER -