TY  - BOOK
AU  - Родионов,Ю.А.
TI  - Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
PY  - 2021///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - Лань
KW  - реактив
KW  - фильтрация
KW  - травление
KW  - нанесение пленок
KW  - деионизованная  вода
N2  - Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам  и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической  подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры Электроника и наноэлектроника, Конструирование и технология электронных средств
UR  - https://e.lanbook.com/book/165810
UR  - https://e.lanbook.com/img/cover/book/165810.jpg
ER  -