TY  - GEN
AU  - Гаман,Василий Иванович
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
TI  - Газочувствительные элементы на основе кремниевых МОП-диодов
KW  - сложные полупроводники
KW  - полупроводниковые наноструктуры
KW  - сенсоры
KW  - газовые сенсоры
KW  - интегральные схемы
KW  - газочувствительные элементы
KW  - МОП-структуры
KW  - кремний
KW  - экспериментальные исследования
KW  - труды ученых ТГУ
ER  -