TY  - GEN
AU  - Кабышев,Александр Васильевич
AU  - Конусов,Федор Валерьевич
AU  - Лопатин, Владимир Васильевич
TI  - Неравновесное состояние нитридокерамических диэлектриков после имплантации ионов
KW  - физика твердого тела
KW  - неорганические диэлектрики
KW  - нитрид бора
KW  - нитрид алюминия
KW  - облучение ионами углерода
KW  - неравновесное состояние
ER  -