TY  - GEN
AU  - Гудымович,Елена Никифоровна
TI  - Основные проблемы фотохимического травления диэлектрических слоев в микроэлектронике
KW  - наноматериалы полифункциональные
KW  - нанотехнологии
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - фотохимическое травление
KW  - диэлектрические слои
ER  -