TY  - GEN
AU  - Семягин,Борис Рэмович
AU  - Путято,Михаил Альбертович
AU  - Преображенский,Валерий Владимирович
AU  - Лаврентьева,Людмила Германовна
AU  - Вилисова,Мария Дмитриевна
AU  - Торопов,Сергей Евгеньевич
AU  - Чалдышев,Владимир Викторович
AU  - Куницын,Александр Евгеньевич
TI  - Влияние плотности потока молекул As2 и As4 на свойства слоев нелегированного и легированного кремнием GaAs, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низких температурах
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - арсенид галлия
KW  - кремний
KW  - эпитаксиальные слои
KW  - молекулярно-лучевая эпитаксия
KW  - легированные полупроводники
KW  - легированный кремний
KW  - экспериментальные исследования
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - труды ученых ТГУ
ER  -