TY  - GEN
AU  - Жуков,Л.Л.
AU  - Макеева,В.А.
AU  - Пушкарев,Александр Иванович
AU  - Ремнев,Геннадий Ефимович
TI  - Осаждение аморфного оксида кремния из газовой фазы при воздействии мощным электронным пучком
KW  - оксид кремния
KW  - полупроводниковые пленки
KW  - газовая фаза
KW  - электронные пучки
KW  - излучательные свойства
N1  - Библиогр.: 3 назв
ER  -