TY  - BOOK
AU  - Рыжикова,Юлия Владимировна
TI  - Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.03
PY  - 2008///
CY  - Москва
PB  - [б. и.]
KW  - радиофизика
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 16-17
ER  -