TY  - BOOK
AU  - Беляев,Анатолий Иванович
TI  - Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов: [учебное пособие для вузов по специальности "Технология специальных материалов электронной техники"]
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - чистые металлы
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - сорбция
KW  - экстракция
KW  - кристаллизация
KW  - испарение
KW  - конденсация
KW  - очистка веществ
KW  - разделение веществ
N1  - Библиогр.: с. 220-223
ER  -