TY  - BOOK
AU  - Нефедов,Денис Владимирович
TI  - Получение наноразмерных пленочных структур на основе аморфного кремния и его соединений и исследование их свойств: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01
PY  - 2008///
CY  - Саратов
PB  - [б. и.]
KW  - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 17-18
ER  -