TY  - BOOK
AU  - Бахмач,Ольга Федоровна
TI  - Исследование и разработка методов моделирования для управления технологическими процессами компьютерно-интегрированного производства СБИС: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.01
PY  - 1999///
CY  - М.
KW  - Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
KW  - БВАК1995N4
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с.22-23
ER  -