TY  - GEN
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
AU  - Хлудкова,Людмила Станиславовна
TI  - Влияние уровня легирования кремния на чувствительность к водороду барьерных структур Pd/n-Si
KW  - электронные приборы
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - физические процессы
KW  - электрические характеристики
KW  - кремний
KW  - легирование
KW  - водород
KW  - барьерные структуры
ER  -