TY  - BOOK
ED  - Физико-технологический институт (Москва)
TI  - Диагностика микроэлектронных структур: [Сборник статей]
T2  - Труды Физико-технологического института / Рос. АН
SN  - 5020069817
PY  - 1993///
CY  - М.
PB  - Наука
KW  - микроэлектроника
KW  - диагностика
KW  - рентгеновская дифракция
KW  - электронная микроскопия
KW  - диагностика поверхности
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -