TY  - BOOK
AU  - Красников,Геннадий Яковлевич
AU  - Зайцев,Николай Алексеевич
TI  - Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС
SN  - 5934970011
PY  - 1999///
CY  - М.
PB  - [Б.м.]
KW  - субмикронная технология
KW  - полупроводники
KW  - геттерирование
KW  - структурно-примесные дефекты
KW  - дрейф ионов
KW  - кремниевые микросхемы
KW  - интегральные схемы
KW  - микроэлектроника
KW  - примеси неконтролируемые
KW  - кремний поликристаллический
KW  - чипы кремниевые
KW  - технология производства микросхем
KW  - физико-термические процессы
N1  - Библиогр.: с. 220-223
ER  -