TY  - BOOK
ED  - Физико-технологический институт (Москва)
TI  - Проблемы микроэлектронной технологии
T2  - Труды Физико-технологического института / Рос. АН
SN  - 502007019X
PY  - 1994///
CY  - М.
PB  - Наука
KW  - микроэлектроника
KW  - технологии
KW  - технологические процессы
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -