TY  - BOOK
AU  - Коршунов,Федор Павлович
AU  - Богатырев,Юрий Владимирович
AU  - Вавилов,Владимир Алексеевич
TI  - Воздействие радиации на интегральные микросхемы
PY  - 1986///
CY  - Минск
PB  - Наука и техника
KW  - микроэлектронные схемы интегральные
KW  - ионизирующие излучения
KW  - радиационные дефекты
KW  - смещение атомов
KW  - твердые тела
KW  - кремний
KW  - арсенид галлия
KW  - интегральные микросхемы биполярные
KW  - МДП-транзисторы
KW  - МДП интегральные микросхемы
KW  - радиационная стойкость
KW  - проникающие излучения
KW  - легирование полупроводников ядерное
KW  - диффузия в полупроводниках
KW  - технология полупроводниковых приборов
KW  - технология интегральных микросхем
KW  - литография
N1  - Библиогр.: с. 233-248; Предм. указ.: с. 249-250
ER  -