TY - BOOK AU - Овсянников,Анатолий Александрович AU - Энгельшт,Владимир Семенович AU - Лебедев,Юрий Анатольевич TI - Низкотемпературная плазма SN - 5020301973 PY - 1994/// CY - Новосибирск PB - Наука, ВО KW - физика плазмы KW - химия плазмы KW - плазма низкотемпературная KW - диагностика плазмы KW - зонды электростатические KW - автоматизация экспериментов N1 - Библиогр.: с. 451-480 ER -