TY  - BOOK
AU  - Иванов,Вадим Иванович
AU  - Николайкин,Н.И.
AU  - Сигалов,Э.Б.
TI  - Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы
T2  - Обзоры по электронной технике
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Электроника
N1  - Библиогр.: с. 32-35
ER  -