TY  - BOOK
AU  - Ли Цзень Фень.
TI  - Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.09.02 ; 01.04.04
PY  - 2006///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - Электротехнические материалы и изделия
KW  - nsnr
KW  - физическая электроника
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 17-18
ER  -