TY  - BOOK
AU  - Ильичев,Эдуард Анатольевич
TI  - Учебное пособие по дисциплине "Экспериментальные методы исследования и основы метрологии нанообъектов": [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
T2  - Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
SN  - 9785725606584
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - нанообъекты
KW  - метрология
KW  - эталоны физических величин
KW  - измерение наноразмерных перемещений
KW  - измерение наноразмерных длин
KW  - измерительные системы
KW  - элементарная теория ошибок
KW  - флуктуационные процессы
KW  - пучковые методы исследований
KW  - измерения физических параметров
N1  - Библиогр.: с. 249-251
ER  -