TY - GEN AU - Анисимова,Любовь Леонидовна TI - Морфология поверхности эпитаксиальных слоев арсенида галия, выращенных на вициналях φ0(111)А и φ0(001) методом молекулярно-лучевой эпитаксии KW - физика полупроводников KW - физика диэлектриков KW - молекулярно-лучевая эпитаксия KW - эпитаксиальные слои KW - арсенид галлия KW - труды ученых ТГУ ER -