TY  - SER
AU  - Гаврилов,Николай Васильевич
AU  - Третников,Петр Васильевич
AU  - Чукин,Андрей Владимирович
AU  - Меньшаков,Андрей Игоревич
AU  - Чолах,Сеиф Османович
AU  - Каменецких,Александр Сергеевич
TI  - Формирование α-Al2O3-покрытий реакционным испарением с интенсивным ионным сопровождением при 500–550 °С
KW  - оксидные покрытия
KW  - оксид алюминия
KW  - реактивное испарение
KW  - ионное сопровождение
KW  - текстура
KW  - кристаллическая решетка
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 26 назв; Ограниченный доступ
N2  - Представлены результаты исследования условий формирования и структуры α-фазы в Al2O3-покрытиях, полученных реакционным анодным испарением в дуговом разряде при низкой температуре (500–550 °С). В экспериментах варьировались плотность тока ионного сопровождения (до 20 мА/см2) и энергия ионов (25–150 эВ), поступающих на поверхность покрытия при постоянной скорости роста 3 мкм/ч. Фазовый состав покрытия анализировался методами рентгеновской дифракции и инфракрасной спектроскопии. Показано, что α-фаза формируется при достижении порогового напряжения смещения 75–100 В и стабильна в ограниченном диапазоне изменения энергии ионов, рост которой приводит к уменьшению размера нанокристаллитов α-фазы и аморфизации покрытия. Особенностью структуры покрытий является преимущественная ориентация (300), наиболее вероятной причиной доминирования которой служит рост α-фазы при выполнении ориентационного соотношения (440)γ-Al2O3/(300)α-Al2O3
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000788953
ER  -