TY  - GEN
AU  - Калашников,Марк Петрович
AU  - Божко,Ирина Александровна
AU  - Сергеев,Виктор Петрович
AU  - Федорищева,Марина Владимировна
TI  - Фазовый состав и тонкая структура слоя Zr-Y-O в многослойных покрытиях Zr-Y-O / Si-Al-N
KW  - структурно-фазовые состояния
KW  - многослойные покрытия
KW  - диоксид циркония
KW  - импульсное магнетронное распыление
KW  - статьи в сборниках
N1  - Библиогр.: 5 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000787343
ER  -