TY - GEN AU - Lastovka,V.V. AU - Belyavskaya,Olga A. AU - Sharkeev,Yuriy P. AU - Prosolov,K.A. TI - Collimation of a sputtered flux during the glancing angle deposition of calcium phosphates KW - коллимация KW - фосфаты кальция KW - распыленный флюс KW - статьи в сборниках N1 - Библиогр.: 2 назв UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000787161 ER -