TY  - BOOK
AU  - Цветков,Юрий Борисович
TI  - Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2: учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"]
SN  - 9785703848647
PY  - 2018///
CY  - Москва
PB  - Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - микроэлектроника, технологические процессы
KW  - интегральные микротехнологии
KW  - интегральные микросхемы, производство
KW  - КМОП-микросхемы
KW  - КМОП-технологии
KW  - микроэлектромеханические системы
KW  - особенности производства
KW  - микродатчики давления
KW  - чувствительные элементы датчиков
KW  - кремниевые пластины монокристаллические
KW  - кремниевые пластины, параметры
KW  - монокристаллический кремний
KW  - монокристаллы, выращивание
KW  - кремниевые пластины, обработка
KW  - термическое оксидирование
KW  - оксидирование, стадии
KW  - диоксид кремния, свойства
KW  - диоксид кремния, структура
KW  - Дила-Гроува модель роста оксида
KW  - термическое оксидирование промышленное
N1  - Библиогр.: с. 52, 121
ER  -