TY  - BOOK
AU  - Вавилов,Владимир Дмитриевич
AU  - Тимошенков,Сергей Петрович
AU  - Тимошенков,Алексей Сергеевич
TI  - Микросистемные датчики физических величин: монография в двух частях
T2  - Мир электроники
SN  - 9785948364988
PY  - 2018///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - датчики физических величин
KW  - микросистемотехника
KW  - датчики интегральные
KW  - датчики микросистемные, узлы
KW  - датчики микросистемные, элементы
KW  - датчики микросистемные, параметры
KW  - датчики микросистемные, характеристики
KW  - датчики микросистемные, проектирование
KW  - датчики микросистемные, расчет
KW  - преобразователи обратные микросистемные
KW  - термопреобразователи интегральные
KW  - датчики микросистемные, функции передаточные
KW  - датчики микросистемные, схемотехника
KW  - акселерометры интегральные
KW  - микрогироскопы
KW  - датчики микросистемные пьезорезонансные
KW  - микромагнитометры
KW  - датчики давления интегральные
KW  - датчики влажности интегральные
KW  - расходомеры интегральные жидкостей и газов
KW  - датчики интегральные, оптимизация характеристик
KW  - датчики интегральные, испытания
KW  - датчики интегральные, тарировка
KW  - микроэлектромеханические системы, надежность
KW  - авиационные приборы
N1  - Библиогр.: с. 541-544
ER  -