TY  - GEN
AU  - Заяханов,Владимир Александрович
AU  - Дирко,Владимир Владиславович
TI  - Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины
KW  - эпитаксиальные слои германия
KW  - эпитаксиальные слои кремния
KW  - кварцевые измерители толщины
KW  - дифракция быстрых электронов
KW  - статьи в сборниках
N1  - Библиогр.: 4 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000652181
ER  -