TY  - GEN
AU  - Таллер,Елена Викторовна
AU  - Щербаков,Петр Сергеевич
TI  - Исследование влияния процессов получения на свойства пленок Ga2O3
KW  - пленки оксида галлия
KW  - анодное окисление
KW  - оксидные пленки
KW  - арсенид галлия
KW  - статьи в сборниках
N1  - Библиогр.: 2 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000652108
ER  -