TY  - BOOK
AU  - Раков,А.В.
ED  - Институт общей физики им. А. М. Прохорова (Москва)
TI  - Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах: Сборник статей
T2  - Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова / Рос. акад. наук
SN  - 5020008281
PY  - 1995///
CY  - М.
PB  - Наука
KW  - физика
KW  - микротехнологии
KW  - нанотехнологии
KW  - измерения
KW  - физические эксперименты
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -