TY  - BOOK
AU  - Шапилова,Анна Викторовна
ED  - Институт сильноточной электроники (Томск)
TI  - Структура и свойства тонких пленок ZrO2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.07
PY  - 2018///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - Физика конденсированного состояния
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 21-22
ER  -