TY  - BOOK
AU  - Ляхов,Анатолий Александрович
TI  - Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05
PY  - 2018///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - механика жидкости, газа и плазмы
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 20-24
ER  -