TY  - GEN
AU  - Ремизова,Ирина Леонидовна
TI  - Влияние термического отжига на свойства структур GaxOy/n-GaAs
KW  - термический отжиг
KW  - оксид галлия
KW  - оксидные материалы
KW  - оксидные пленки
KW  - статьи в сборниках
N1  - Библиогр.: 2 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000565724
ER  -