TY  - BOOK
AU  - Борун,Александр Феликсович
TI  - Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
PY  - 1995///
CY  - М.
KW  - авторефераты диссертаций
KW  - диэлектрики
KW  - физика твердых тел
KW  - фазовые превращения
KW  - имплантация
KW  - полупроводники
N1  - Библиогр.: с. 29-30
ER  -