TY  - BOOK
AU  - Юрьев,Юрий Николаевич
ED  - Томский политехнический университет.
TI  - Свойства тонких пленок оксида титана (TiO2) и аморфного углерода (a-C), осажденных с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.07
PY  - 2016///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - Физика конденсированного состояния
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 21-22
ER  -