TY  - BOOK
AU  - Миттова,Ирина Яковлевна
TI  - Термическое окисление кремния в присутствии примесей: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04
PY  - 1976///
CY  - Воронеж
PB  - [б. и.]
KW  - физическая химия
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 17-18
ER  -