TY  - BOOK
AU  - Кусаинов,Жетен Акрамович
TI  - Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов 11B, 31P, 75As, 122Sb с энергией 1-10 кэВ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07
PY  - 1984///
CY  - Алма-Ата
PB  - [б. и.]
KW  - физика твердого тела
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 17-18
ER  -