TY  - BOOK
AU  - Масленников,Павел Николаевич
AU  - Лаврентьев,Константин Андреевич
AU  - Гингис,Александр Давыдович
TI  - Оборудование полупроводникового производства
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - учебные издания для вузов
KW  - производство полупроводниковых приборов
KW  - производство интегральных микросхем
KW  - технологическое оборудование
KW  - оборудование для обработки пластин
KW  - планарные технологии
KW  - диффузионно-окислительные системы
KW  - системы ионного легирования
KW  - эпитаксиальные преобразователи
KW  - оборудование для получения эпитаксиальных пленок
KW  - оборудование для осаждения пленок
KW  - вакуумно-напылительное оборудование
KW  - фотолитографическое оборудование
KW  - монтажно-сборочное оборудование
KW  - кристаллизационные установки
KW  - герметизирующее оборудование
KW  - контрольно-измерительная аппаратура
KW  - испытательное оборудование
KW  - технологические процессы
KW  - обеспечение микроклимата
KW  - очистка сред
KW  - технологические средства, требования
KW  - автоматизация технологических процессов
KW  - промышленные роботы
N1  - Авт. указ. на обороте тит. л; Библиогр.: с. 330-333
ER  -