TY  - SER
AU  - Бричков,Антон Сергеевич
AU  - Бричкова,Виктория Юрьевна
AU  - Козик,Владимир Васильевич
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Газочувствительные свойства тонкопленочных материалов на основе систем оксидов D-металлов и кремния
KW  - золь-гель метод
KW  - тонкие пленки
KW  - полупроводниковые сенсоры
KW  - оксид титана
KW  - оксид кремния
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 15 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000516140
ER  -