TY  - BOOK
AU  - Воронова,М.
ED  - "Кремний-2000", российская конференция
TI  - Тезисы докладов Второй Российской конференции по материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния ("Кремний-2000"), 9-11 февраля 2000 г., Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет)
PY  - 2000///
CY  - Москва
PB  - [б. и.]
KW  - материалы полупроводников
KW  - монокристаллы кремния легированные
KW  - монокристаллы кремния нелегированные, технология
KW  - монокристаллы кремния легированные, технология
KW  - монокристаллы кремния легированные переходными металлами
KW  - монокристаллы кремния легированные редкоземельными металлами
KW  - гетероэпитаксиальные структуры кремния монокристаллического
KW  - гомоэпитаксиальные структуры кремния монокристаллического
KW  - фотоэлектронные приборы, структуры
KW  - оптоэлектронные приборы, структуры
KW  - кремний поликристаллический, получение
KW  - кремний пористый, получение
KW  - кремний аморфный, получение
KW  - кремний микрокристаллический, получение
KW  - кремний, диагностика
KW  - кремний, структура
KW  - кремний, свойства
KW  - кремний, методы исследования
KW  - кремний, аппаратура исследования
N1  - Алф. указ.: с. 437-444; Библиогр. в конце тез
ER  -